آلة الطباعة الحجرية، آلة محاذاة الأقنعة، آلة الحفر الضوئي

مواصفة

1. مساحة التعريض: 110 مم × 110 مم؛
2. ★ طول موجة التعريض: 365 نانومتر؛
3. الدقة: ≤ 1 متر؛
4. دقة المحاذاة: 0.8 متر؛
5. يجب أن يكون نطاق حركة طاولة المسح الضوئي لنظام المحاذاة على الأقل كما يلي: Y: 10 مم؛
6. يمكن لأنابيب الإضاءة اليسرى واليمنى لنظام المحاذاة أن تتحرك بشكل منفصل في الاتجاهات X و y و Z، الاتجاه X: ± 5 مم، الاتجاه Y: ± 5 مم والاتجاه Z: ± 5 مم؛
7. مقاس القناع: 2.5 بوصة، 3 بوصات، 4 بوصات، 5 بوصات؛
8. حجم العينة: جزء، 2 بوصة، 3 بوصات، 4 بوصات؛
9. ★ مناسب لسمك العينة: 0.5-6 مم، ويمكنه دعم قطع العينات التي يصل سمكها إلى 20 مم كحد أقصى (حسب الطلب)؛
10. وضع التعريض: التوقيت (وضع العد التنازلي)؛
11. عدم انتظام الإضاءة: <2.5%؛
12. مجهر محاذاة CCD ثنائي المجال: عدسة تكبير (1-5 مرات) + عدسة موضوعية للمجهر؛
13. يجب ألا تقل مسافة حركة القناع بالنسبة للعينة عن: س: 5 مم؛ ص: 5 مم؛ 6 درجات؛
14. ★ كثافة طاقة التعرض: > 30 ميجاواط / سم2،
15. ★ يعمل موضع المحاذاة وموضع التعريض في محطتين، ويتم تبديل محرك المؤازرة للمحطتين تلقائيًا؛
16. يضمن ضغط التلامس المتساوي إمكانية التكرار من خلال المستشعر؛
17. ★ يمكن ضبط فجوة المحاذاة وفجوة التعريض رقميًا؛
18. ★ يحتوي على واجهة بصمة نانوية وواجهة تقارب؛
19. ★ تشغيل شاشة اللمس؛
20. الأبعاد الكلية: حوالي 1400 مم (طول) 900 مم (عرض) 1500 مم (ارتفاع).