آلة الطباعة الحجرية، محاذاة الأقنعة، آلة النقش الضوئي

مواصفة

1. مساحة التعرض: 110 مم × 110 مم؛
2. ★ طول موجة التعرض: 365 نانومتر؛
3. الدقة: ≤ 1 متر؛
4. دقة المحاذاة: 0.8 متر؛
5. يجب أن يتوافق نطاق حركة طاولة المسح لنظام المحاذاة على الأقل مع: Y: 10 مم؛
6. يمكن لأنابيب الضوء اليمنى واليسرى لنظام المحاذاة التحرك بشكل منفصل في اتجاهات X وy وZ، اتجاه X: ± 5 مم، اتجاه Y: ± 5 مم واتجاه Z: ± 5 مم؛
7. حجم القناع: 2.5 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة، 5 بوصة؛
8. حجم العينة: جزء، 2 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة؛
9. ★ مناسب لسمك العينة: 0.5-6 مم، ويمكنه دعم قطع العينة التي يبلغ حجمها 20 مم على الأكثر (مخصصة)؛
10. وضع التعرض: التوقيت (وضع العد التنازلي)؛
11. عدم انتظام الإضاءة: <2.5٪؛
12. مجهر محاذاة CCD ثنائي المجال: عدسة تكبير (1-5 مرات) + عدسة موضوعية للمجهر؛
13. يجب أن تتوافق حركة القناع بالنسبة للعينة على الأقل مع: X: 5 مم؛ Y: 5 مم؛ : 6º؛
14. ★ كثافة طاقة التعرض: > 30 ميجاوات / سم2،
15. ★ يعمل موضع المحاذاة وموضع التعرض في محطتين، ويتم تبديل محرك المؤازرة في المحطتين تلقائيًا؛
16. يضمن ضغط التلامس المستوي إمكانية التكرار من خلال المستشعر؛
17. ★يمكن ضبط فجوة المحاذاة وفجوة التعريض رقميًا؛
18. ★ يحتوي على واجهة بصمة النانو وواجهة القرب؛
19. ★ تشغيل شاشة اللمس؛
20. الأبعاد الكلية: حوالي 1400 مم (الطول) 900 مم (العرض) 1500 مم (الارتفاع).